清潔度分析儀的分析原理：

　　紫外線照射后產生的熒光是一種特殊形態的冷光。當熒光分析的電子吸收了光子后能量提高，可是這種狀態并不是非常穩定，它會馬上變回初始狀態然后還會將吸收的能量再次釋放出來，發出熒光。

　　因為部分能量轉化成熱量消耗了，從而發出的光線能量降低，波長也變長了。因為玷污物的熒光特性，通過一個含紫外光波的LED燈照射，清潔度分析儀也就可以探測出玷污物。儀器探頭里的光電二極管負責測量UV熒光的強度。UV熒光越強表示污染程度越大，相反就會越潔凈。

　　對于平常清潔過程當中的玷污物，清潔度分析儀的參數已經設計得盡可能合適。對于特殊的檢驗要求，它也可能適合LED的波長。

　　因為有機物被UV光激發后具有很強的自體熒光特性，所以儀器可以檢查出油、油脂還有殘余表面活性劑的玷污物。除此之外，它也可能用于檢查腐蝕或者已知厚度的蠟層。

　　清潔度分析儀的測量原理是共焦法，也就是激發光線還有被激發而產生的光線在同一平行輻射軌跡上。所以，探頭的靈活定位還有在線測量都容易實現。基于這種測試原理，對于構成中不含或者含有輕微熒光性原料的零件，儀器都能夠檢測其清潔度。